精密儀器設(shè)備裝卸搬運-半導(dǎo)體設(shè)備搬遷搬家搬運的亞瑟報道：俄羅斯芯片產(chǎn)業(yè)正在經(jīng)歷一輪又一輪的變局，為了解決發(fā)展需要，俄羅斯已經(jīng)確定投入6.7億盧布用于研發(fā)‌‌半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍光刻機，并且級別和ASML生產(chǎn)的EUV光刻機對等。在‌‌半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍這之后，ASML公司就傳出與韓國展開討論合作的消息。在變幻莫測的半導(dǎo)體行業(yè)，俄羅斯自研光刻機勝算幾何？ASML開始著急了？‌‌半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍對俄羅斯半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)進行了各種措施，有的芯片供應(yīng)商停止供貨，生產(chǎn)，俄當(dāng)?shù)氐囊恍┬酒髽I(yè)也被特殊對待。身處規(guī)則之中，破局的希望就在自己身上。于是俄羅斯針對芯片產(chǎn)業(yè)采取了各項應(yīng)對措施，包括將當(dāng)?shù)氐腗CST，貝加爾電子兩大芯片設(shè)計企業(yè)納入骨干企業(yè)名單，進行扶持。還有‌‌半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍關(guān)鍵的就是研制光刻機。根據(jù)俄媒消息，俄羅斯投資了6.7億盧布研發(fā)無掩模X射線光刻機，這類光刻機采用X射線，等級和ASML的極紫外光EUV相同。并且由當(dāng)?shù)?/span>頂級的電子信息科研機構(gòu)莫斯科電子技術(shù)學(xué)院承接這臺光刻機的研發(fā)項目。如果是一般的光刻機，可能不會引起外界太多的重視。就是認為掌握替代品，也無法給現(xiàn)有的光刻機市場格局帶來太大的改變。

可是這則消息一出，便引起了半導(dǎo)體行業(yè)和外界的熱議。因為仔細了解過后會發(fā)現(xiàn)，俄羅斯不僅確定自研光刻機，而且還有可能比ASML的EUV光刻機做得還要好，可以實現(xiàn)EUV光刻機也做不到的許多功能比如X射線的波長短于極紫外光，說明分辨率比EUV還要精細。雖然俄羅斯才剛剛確定要自研光刻機，但有了解俄羅斯基礎(chǔ)科研的人都知道，如果真要搞科研，那可不是說說而已。俄羅斯沒有模仿ASML生產(chǎn)的EUV光刻機，而是大搞創(chuàng)新，開辟以X射線為路徑的全新方向。這才是難得的。