MOCVD設(shè)備裝卸搬運-PVD設(shè)備裝卸搬運-設(shè)備搬遷搬運的亞瑟報道:2022年9月，半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍瞻芯電子自建的車規(guī)級SiC晶圓廠自主完成了首批6英寸SiC MOSFET晶圓流片，產(chǎn)品參數(shù)達到設(shè)計要求，良率指標(biāo)正常，標(biāo)志著6英寸SiC MOSFET工藝平臺正式打通。半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍瞻芯電子SiC晶圓廠繼2022年7月22日正式投片后，用一個半月時間就打通了SiC MOSFET工藝平臺，再次展現(xiàn)了瞻芯團隊強大的技術(shù)整合能力和攻關(guān)能力。此外，半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍早在2022年8月5日半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍SiC 二極管(SBD)晶圓就在瞻芯電子SiC晶圓廠流片成功，良率指標(biāo)優(yōu)異，就表明6英寸SiC SBD工藝平臺已打通。后續(xù)，瞻芯將進一步優(yōu)化工藝流程，加強質(zhì)量管控，提高產(chǎn)品良率，為半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍量產(chǎn)做好準(zhǔn)備。半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍上海瞻芯電子科技有限公司是一家聚焦于碳化硅(SiC)半導(dǎo)體領(lǐng)域的高科技芯片公司，2017年成立于上海臨港，致力于開發(fā)碳化硅(SiC)功率器件、驅(qū)動和控制芯片、碳化硅(SiC)功率模塊產(chǎn)品，并圍繞碳化硅(SiC)功率半導(dǎo)體應(yīng)用，為客戶提供一站式(Turn-key)芯片解決方案。半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍瞻芯電子是中國半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍家自主開發(fā)并掌握6英寸SiC MOSFET產(chǎn)品以及工藝平臺的公司，建成了一座按車規(guī)級標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計的SiC晶圓廠，將持續(xù)創(chuàng)新，放眼世界，致力于打造中國半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍的碳化硅(SiC)功率半導(dǎo)體和芯片解決方案提供商。