精密儀器設(shè)備搬運(yùn)的亞瑟報(bào)道：昨日，韓國(guó)存儲(chǔ)廠(chǎng)商精‌密‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍SK海力士宣布，公司精‌密‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍使用EUV光刻機(jī)生產(chǎn)的DRAM正式量產(chǎn)。據(jù)精‌密‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍介紹，公司旗下第四代 10 納米級(jí)（1a）制程8Gigabit（Gb）LPDDR4 移動(dòng)設(shè)備專(zhuān)用DRAM已經(jīng)量產(chǎn)。作為SK海力士旗下采用EUV生產(chǎn)的DRAM，與上一代產(chǎn)品相比，新產(chǎn)品可以將使相同尺寸晶圓生產(chǎn)的 DRAM 芯片數(shù)量增加 25%，并能將功耗降低20%。在更早之前，三星精‌密‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍量產(chǎn)了使用EUV光刻機(jī)生產(chǎn)的DRAM，在過(guò)去多年稍顯保守的美光也宣布，將在2024年生產(chǎn)基于EUV的DRAM。至此，三大DRAM大廠(chǎng)都跨入了EUV時(shí)代。如下圖所示，從原理層面上看精‌密‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍存儲(chǔ)一個(gè) Bit 信息的 DRAM Storage Cell 的結(jié)構(gòu)精‌密‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍所示。它主要是由存儲(chǔ)電容（Storage Capacitor）、訪(fǎng)問(wèn)晶體管（Access Transistor）、字線(xiàn)（Wordline）以及位線(xiàn)（Bitline）四部分組成。