實驗室搬遷搬運-共創(chuàng)高級實驗室搬運服務(wù)商報道據(jù)揚州高新區(qū)消息，近日，實驗室搬遷搬運-共創(chuàng)高級實驗室搬運服務(wù)商總投資10億元的揚州思普爾科技有限公司半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)制造及6英寸晶圓芯片實驗線精‌密‍設(shè)‌備‍搬‌運‍項目正式簽約落戶揚州高新區(qū)。

項目分三期實施，一期新建半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)中心、設(shè)備制造中心、設(shè)備工藝性能測試中心和一條6英寸晶圓芯片試驗線，主要從事半導(dǎo)體高溫氧化設(shè)備、全自動清洗干燥設(shè)備、涂膠顯影設(shè)備和等離子刻蝕設(shè)備的生產(chǎn)制造，預(yù)計2021年10月建成并投入使用。項目二期將啟動注入光刻機精‌密‍設(shè)‌備‍搬‌運‍、金屬濺射平臺、深槽刻蝕等設(shè)備的研發(fā)制造，預(yù)計2023年12月底前實施到位。

三期項目將在現(xiàn)有測試中心及芯片試驗線基礎(chǔ)上，建設(shè)特殊工藝的芯片生產(chǎn)線及成品封裝生產(chǎn)線，屆時項目產(chǎn)能將達(dá)到20億人民幣。據(jù)精‌密‍設(shè)‌備‍搬‌運‍介紹，揚州思普爾科技有限公司集半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)制造、升級改造、技術(shù)服務(wù)以及集成電路芯片設(shè)計、工藝研發(fā)為一體，與MOS、Quick SEMI Corp.和新加坡TLG等公司合作，開發(fā)定制晶圓清洗干燥設(shè)備、化學(xué)試劑和電子氣體供給回收設(shè)備，升級改造SEMITOOL甩干機、AG快速退火爐、NIKON光刻機、VRAIAN濺射臺、LAM刻蝕機臺等半導(dǎo)體設(shè)備。2019年11月，該公司與韓國TMI公司達(dá)成半導(dǎo)體設(shè)備合作研發(fā)協(xié)議，立項研發(fā)芯片高溫氧化設(shè)備，全自動清洗干燥設(shè)備、涂膠顯影設(shè)備、等離子刻蝕設(shè)備。目前設(shè)備研發(fā)已經(jīng)完成，首臺樣機已經(jīng)進(jìn)入工藝實測階段， 2021年實現(xiàn)精‌密‍設(shè)‌備‍搬‌運‍產(chǎn)業(yè)化