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半導(dǎo)體設(shè)備搬家搬運搬遷-氣墊車運輸

2022-04-19  來自: 亞瑟半導(dǎo)體設(shè)備安裝(上海)有限公司 瀏覽次數(shù):276

半導(dǎo)體設(shè)備搬家搬運搬遷-氣墊車運輸?shù)膩喩獔蟮溃?span style="color: rgb(76, 74, 74); font-family: ">近日,半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍CEA、Soitec、GlobalFoundries和ST宣布了一項新的合作,他們打算共同定義業(yè)界下一代 FD-SOI 路線圖技術(shù)。半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍作為本世紀初被開發(fā)以應(yīng)對22nm以后半導(dǎo)體工藝難題的兩大制程技術(shù)之一,F(xiàn)D-SOI顯然從知名度上遠遠不如FinFET那樣耳熟能詳,應(yīng)用廣度也欠缺了不止一個維度,但這種工藝在某些方面的優(yōu)勢,又是標(biāo)準(zhǔn)的FinFET工藝所不具備的,特別是在如今龐大的物聯(lián)網(wǎng)生態(tài)中,對芯片差異化的需求有時正需要FD-SOI這種技術(shù)半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍優(yōu)勢來實現(xiàn)。而另一邊,長期受益于摩爾定律大放異彩的FinFET仿佛也走到了盡頭,如果說三星宣稱將在3nm推出其“環(huán)繞式柵極(GAA)”技術(shù)取代FinFET晶體管技術(shù),F(xiàn)inFET猶可淡定;而到如今,臺積電2nm和英特爾5nm制程也將放棄FinFET而轉(zhuǎn)向GAA,就已有一個時代翻篇的跡象了。三大代工巨頭紛紛在下一代半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍制程上選擇GAA,成熟制程上FD-SOI又在“窮追不舍”,F(xiàn)inFET迎來“前后夾擊

回顧半導(dǎo)體工藝制程發(fā)展歷程,在過去的很長一段時間里都是平面型晶體管的天下。隨著半導(dǎo)體發(fā)展趨勢,使得相同面積下試圖填入更多晶體管的想法逐漸受到重視,因此衍生出微縮整體尺寸的構(gòu)然而平面型晶體管受制于物理結(jié)構(gòu),它只能在(Gate)的一側(cè)控制電流的接通與斷開,而且它的柵極寬度不可能無限制的縮窄。當(dāng)寬度接近20nm時,柵極對電流的控制能力將出現(xiàn)斷崖式下降,業(yè)內(nèi)將其稱為“溝道長度變短導(dǎo)致的所謂短溝道效應(yīng)”,從而出現(xiàn)嚴重的電流泄露(漏電)現(xiàn)象,終讓芯片的發(fā)熱為了繼續(xù)延續(xù)摩爾定律,胡正明教授于2000年前后提出了兩種解決途徑:一種是立體型結(jié)構(gòu)的FinFET晶體管(鰭式場效應(yīng)晶體管),另一種是基于SOI的超薄絕緣層上硅體技術(shù)FD-SOI晶體管技術(shù)(超薄絕緣層上硅體技術(shù))

其中,FinFET工藝先拔頭籌,英特爾早于2011年推出了商業(yè)化的FinFET工藝技術(shù),將FinFET技術(shù)應(yīng)用到了自家的22nm制程工藝上,顯著提高了性能并降低了功耗,之后臺積電、三星等各大廠商陸續(xù)跟進,采用 FinFET 技術(shù)取得了巨大成功,半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍使得FinFET大放異彩,從16/14nm開始,F(xiàn)inFET成為了半導(dǎo)體器件的主流選擇,成功地推動了從22nm到5nm等數(shù)代半導(dǎo)體工藝的發(fā)展,并將擴展到3nm工藝節(jié)點,成為流晶圓廠的“不二”之選。半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍FinFET特色就是將晶體管的結(jié)構(gòu)從平面變立體,對柵極形狀進行改制,閘門被設(shè)計成類似魚鰭的叉狀3D架構(gòu),位于電路的兩側(cè)控制電流的接通與斷開,半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍大幅度提升了源極和柵極的接觸面積,減少柵極寬度的同時降低漏電率,讓晶體管空間利用率大大增加。


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