半導(dǎo)體設(shè)備裝卸搬運移位電鏡安裝的亞瑟‌‍精‌密‍設(shè)‌備‍搬‌運‍報道：近日，‌‍精‌密‍設(shè)‌備‍搬‌運‍網(wǎng)上有傳聞稱，上海微電子的“28nm光刻”（傳聞型號為SSA800/10W）機沒有通過02專項的驗收，無法在2021年底完成，28nm光刻機卡住了“02專項”。該消息隨后引發(fā)了眾多網(wǎng)友的關(guān)注和熱議。‌‍精‌密‍設(shè)‌備‍搬‌運‍其實早在2020年6月的時候，網(wǎng)上就曾傳出過國產(chǎn)“28nm光刻機”即將在2020年年底交付的傳聞，當時芯智訊根據(jù)某開發(fā)區(qū)發(fā)布的新聞稿當中也找到了相關(guān)的信息，稱“到2020年產(chǎn)品將與整機單位共同完成28nm國產(chǎn)光刻機的集成工作”。但是，到了2020年年底，上海微電子的28nm光刻機并未入傳聞那樣實現(xiàn)交付。‌‍精‌密‍設(shè)‌備‍搬‌運‍而在今年的6月，網(wǎng)上又再度傳出上海微電子的“28nm光刻機”將在2021年年底交付的傳聞?？上?，截至到目前為止，仍未有確鑿的消息顯示，上海微電子的“28nm光刻機”能夠在年底交付。由此‌‍精‌密‍設(shè)‌備‍搬‌運‍網(wǎng)上出現(xiàn)“今年搞定28nm光刻機的目標已經(jīng)失敗了，上海微電子沒有通過02專項的驗收”的消息也不難理解。當然，這個消息是否真的屬實，目前并沒有官方的回應(yīng)，即便該傳聞屬實，這個鍋可能也并不能完全讓上海微電子來背。在下面開始這個話題之前，還是有必要進行一些簡單的科普。光刻機‌‍精‌密‍設(shè)‌備‍搬‌運‍按照用途可以分為IC 前道光刻機、封裝光刻機、面板光刻機以及 LED/MEMS/功率器件光刻機。而我們經(jīng)常所說的光刻機，通常指的是IC前道光刻機。