半導(dǎo)體fab產(chǎn)線設(shè)備卸車移入-EUV曝光機(jī)設(shè)備卸車移入打包裝車運(yùn)輸-納米晶圓設(shè)備裝卸移入移出-DRAM工廠設(shè)備搬遷移入移出捆包防震氣墊車運(yùn)輸
2020-08-27
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亞瑟半導(dǎo)體設(shè)備安裝（上海）有限公司
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晶圓代工龍頭臺(tái)積電下半年全力沖刺5納米量產(chǎn)，明年還展開3納米生產(chǎn)線建置，臺(tái)積電已成為擁有極紫外光（EUV）產(chǎn)能的半導(dǎo)體大廠，臺(tái)灣因此成為EUV曝光機(jī)市場(chǎng)。微影設(shè)備大廠荷商ASML在南科設(shè)立荷蘭以外的首座EUV技術(shù)培訓(xùn)中心20日開幕啟用，就近支援臺(tái)積電及亞太地區(qū)客戶。
積電中科Fab 15廠及竹科Fab 12廠都有建置EUV曝光機(jī)設(shè)備，主要提供7+納米及6納米晶圓代工，南科Fab 18廠是針對(duì)5納米及3納米打造的超大型晶圓廠（GigaFab），亦是臺(tái)積電EUV微影全制程廠區(qū)。臺(tái)積電下半年5納米進(jìn)入量產(chǎn)，明年開始建置3納米生產(chǎn)線，對(duì)于EUV曝光機(jī)需求大增。臺(tái)積電看好5納米及3納米等制程未來(lái)幾年強(qiáng)勁需求，今年資本支出已提高至160～170億美元，代表對(duì)持續(xù)增加EUV曝光機(jī)采購(gòu)量。EUV設(shè)備大廠ASML為了服務(wù)大客戶臺(tái)積電，并就近支援亞太區(qū)其它客戶，選擇在南科設(shè)立荷蘭以外的首座EUV技術(shù)培訓(xùn)中心。ASML副總裁暨臺(tái)灣區(qū)總經(jīng)理陳文光20日在培訓(xùn)中心開幕典禮指出，2010年ASML提供EUV微影設(shè)備原型機(jī)給臺(tái)積電進(jìn)行研發(fā)工作，為微影技術(shù)開創(chuàng)新紀(jì)元。2017年ASML交付量產(chǎn)型EUV微影系統(tǒng)給臺(tái)積電，寫下商用EUV制程技術(shù)的新里程。臺(tái)灣EUV曝光機(jī)裝機(jī)規(guī)模已，ASML在南科成立EUV技術(shù)培訓(xùn)中心，為臺(tái)灣半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提供更完整的服務(wù)。ASML重申看好EUV曝光機(jī)臺(tái)出貨，今年EUV設(shè)備產(chǎn)能可支援35臺(tái)出貨量，明年可望再增加至45～50臺(tái)。由于晶圓代工廠及IDM廠在7納米及更制程需要大量采用EUV技術(shù)完成晶圓光罩曝光制程，DRAM廠也開始導(dǎo)入EUV技術(shù)，隨著臺(tái)積電、三星、英特爾、SK海力士等大廠開始量產(chǎn)，法人看好EUV機(jī)臺(tái)次系統(tǒng)模組代工廠帆宣、極紫外光光罩盒（EUV Pod）供應(yīng)大廠家登等直接受惠，訂單能見度看到年底。
同時(shí)，臺(tái)積電亦藉由干式EUV光罩潔凈技術(shù)的創(chuàng)新，自2018年導(dǎo)入試產(chǎn)迄今，有效減省水、化學(xué)品等能資源使用量，大幅縮短光罩保修頻率與時(shí)間，除使光罩使用率躍升超過(guò)80％，亦延長(zhǎng)制程EUV光罩壽命，累計(jì)創(chuàng)造的改善效益達(dá)新臺(tái)幣20億元。臺(tái)積電已于今年于Fab 12B廠、Fab 15B廠、Fab 18廠自動(dòng)化系統(tǒng)導(dǎo)入量產(chǎn)，優(yōu)化干式EUV光罩技術(shù)可分析與清潔小于50納米落塵。臺(tái)積電于今年5月亦公告以6.6億元價(jià)格，向家登買下位于南科當(dāng)?shù)氐膹S房土地，該廠建物面積約達(dá)1,956坪。臺(tái)積電亦于8月12日宣布買下偏光板廠力特南科廠，該廠建坪超過(guò)5.4萬(wàn)坪、占地逾2.2萬(wàn)坪，廠房位置就在臺(tái)積電南科廠隔壁，由于臺(tái)積電原先就承租該廠部分用地，直接由租轉(zhuǎn)買，傳是為了晶圓廠產(chǎn)能擴(kuò)產(chǎn)預(yù)作準(zhǔn)備。至于購(gòu)買益通廠房用途，臺(tái)積電回應(yīng)是為了因應(yīng)南科廠區(qū)營(yíng)運(yùn)需求。設(shè)備業(yè)者表示，臺(tái)積電在南科設(shè)立了Fab 14廠及Fab 18廠等兩座超大型晶圓廠，其中，F(xiàn)ab 18廠已完成5納米共3期晶圓廠建置，總月產(chǎn)能約達(dá)9萬(wàn)片。臺(tái)積電將在Fab 18廠區(qū)繼續(xù)興建另外3期晶圓廠，并建置3納米生產(chǎn)線，預(yù)計(jì)2022年完成后陸續(xù)進(jìn)入量產(chǎn)，2023年3納米共3期晶圓廠將可帶來(lái)每月9萬(wàn)片的產(chǎn)能。臺(tái)積電在7月中旬法人說(shuō)明會(huì)中宣布將調(diào)升今年資本支出10億美元達(dá)160～170億美元，與去年相較增加約13％，主要是看好未來(lái)幾年在5G及能運(yùn)算（HPC）的強(qiáng)勁晶圓代工需求，所以臺(tái)積電仍會(huì)維持高資本支出策略，并加速5納米量產(chǎn)及3納米技術(shù)研發(fā)及產(chǎn)能建置精?密?設(shè)?備?搬?運(yùn)?。
臺(tái)積電5納米下半年以快速度拉升產(chǎn)能，并進(jìn)入大規(guī)模量產(chǎn)階段，主要為蘋果代工A14應(yīng)用處理器，而蘋果Arm架構(gòu)Macbook處理器A14X預(yù)計(jì)年底前會(huì)采用臺(tái)積電5納米量產(chǎn)。另外，臺(tái)積電5納米版會(huì)在2021年開始量產(chǎn)，5納米優(yōu)化推出的4納米制程會(huì)在2022年進(jìn)入量產(chǎn)，為5納米提供了一個(gè)明確的升級(jí)路徑精?密?設(shè)?備?搬?運(yùn)?www.dealvat.com。半導(dǎo)體fab產(chǎn)線設(shè)備卸車移入-EUV曝光機(jī)設(shè)備卸車移入打包裝車運(yùn)輸-納米晶圓設(shè)備裝卸移入移出-DRAM工廠設(shè)備搬遷移入移出捆包防震氣墊車運(yùn)輸
