上海半導(dǎo)體設(shè)備裝卸搬運的亞瑟報道：過往，邏輯廠商在工藝上一直處于 ‌‌半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍地位，也是使用EUV光刻機(jī)的大戶。但是現(xiàn)在存儲廠商的發(fā)展也來到了使用EUV光刻機(jī)階段。 ‌‌半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍此前一直表示不會采用EUV光刻的美光，也扛不住來到了EUV光刻時代，近日據(jù)韓媒報道，美光計劃到 2024 在其制造工廠中實施極紫外 (EUV) 光刻，在1γ(Gamma)節(jié)點的有限的層數(shù)中部署 EUV，然后會將其擴(kuò)展到具有更大層采用率的1δ(Delta)節(jié)點。旨在通過允許制造更小的芯片特征來保持摩爾定律的存在。半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍美光總裁兼首席執(zhí)行官Sanjay Mehrotra在公司21財年第三季度財報電話會議上表示：“我們一直說我們會監(jiān)控 EUV 的進(jìn)展。我們實際上參與了 EUV 評估。我們過去使用過 EUV 工具。所以我們一直說，當(dāng)我們看到 EUV 平臺以及生態(tài)系統(tǒng)變得更加成熟時，我們將在我們的路線圖中攔截 EUV。美光已從 ASML 訂購了多種 EUV 工具，”Mehrotra 證實。美光已將21財年的資本支出增加到略高于 95 億美元，其中就包含這些EUV的預(yù)付款。 ‌‌半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍2021年2月1日，SK海力士完成用于DRAM的EUV晶圓廠，它于2年前開始建造，位于京畿道利川園區(qū)的晶圓廠名為 M16，是該公司 ‌‌半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍晶圓廠。SK海力士 ‌‌半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍為M16引進(jìn)了EUV光刻設(shè)備。SK海力士計劃使用 ‌‌半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍設(shè)備從今年下半年開始生產(chǎn)第四代10納米DRAM產(chǎn)品，即1a-nm DRAM。