實驗室搬運裝卸的亞瑟報道： ‌‌半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍EUV光刻機已經(jīng)成為芯片制造的支柱，臺積電和三星等晶圓廠這幾年不斷追逐5nm和3nm等工藝，本身就是EUV光刻機采購大戶，再加上現(xiàn)在這幾大晶圓廠紛紛擴產(chǎn)建廠，無疑又加大了對EUV光刻機的需求。而現(xiàn)在除了晶圓廠等邏輯廠商之外，存儲廠商也逐漸來到光刻機采用階段，甚至與ASML簽下多年的大單。EUV光刻機的爭奪戰(zhàn)，逐漸白熱化。 ‌‌半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍多個研究表明，在三大晶圓廠中，英特爾是迄今為止購買的 EUV工具相對較少，并且尚未開始購買這些極其昂貴、交貨時間非常長、供應(yīng)受限的系統(tǒng)。據(jù)Mizuho Securities Asia Limited的一份關(guān)于ASML的報告，其預(yù)測了EUV客戶臺積電、三星、英特爾的購買情況，如下圖所示，相對來說，英特爾處于落后地位，這與其在工藝節(jié)點的落后有關(guān)。ASML 宣布，其在 2020 年出貨了31臺EUV工具。雖然這表明 EUV 現(xiàn)已達到成熟，但仍低于其 35 臺出貨計劃。然而，未能達標(biāo)的部分原因是英特爾有據(jù)可查的 7nm 延遲：這減少了 ASML四個單位的出貨量。 ‌‌半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍據(jù)了解，只有那些 7nm 或以下的晶圓廠才真正需要基于 EUV光刻機。而英特爾在3月份宣布，將從2023年開始使用其7nm工藝制造用于客戶端PC和 ‌‌半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍服務(wù)器（開發(fā)代號為Meteor Lake和Granite Rapids）的處理器。英特爾將斥資 200 億美元在亞利桑那州建立兩個 ‌‌半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍的制造工廠，這將是“EUV 能力”，這意味著他們將能夠生產(chǎn)7nm 及以下的芯片。通過引入EUV光刻技術(shù)，同時將制造外包給臺積電來爭取時間，這似乎是試圖重建公司內(nèi)部開發(fā)和制造體系的嘗試。 ‌‌半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍而在日前參加摩根大通的會議時，CEO基辛格又表示，Intel將 ‌‌半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍擁抱EUV光刻工藝，大家能夠看到Intel對EUV工藝進行多代重大改進，也能看到晶體管級別的重大改進。這也是因為英特爾來到7nm之后，將有更多晶圓（芯片中的層）使用 EUV 進行曝光。而目前只有十幾個 ‌‌半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍關(guān)鍵的層使用 EUV 進行曝光，這就是英特爾“擁抱 EUV”的意思。臺積電和三星兩家一直在追逐 ‌‌半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍工藝，在EUV光刻機上的布局要多于英特爾。而且臺積電和三星均將在美國建廠，這些工廠也都需要EUV光刻機。據(jù) ‌‌半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍的報道，臺積電的潔凈室供應(yīng)商江西漢唐系統(tǒng)集成有限公司在4月份發(fā)表的聲明中，提供了有關(guān)臺積電美國芯片廠設(shè)備進展的一些初步細節(jié)。該工廠將建在亞利桑那州，也是英特爾的所在地。漢唐董事長陳朝水先生概述了該工廠的合同將于7月完成，設(shè)備安裝將于明年9月開始。 ‌‌半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍fanuan System Technology是臺積電為荷蘭ASML極紫外(EUV)光刻機生產(chǎn)組件的合作伙伴，該公司也將派工程師前往亞利桑那州，預(yù)計該工廠的營收將從明年第三季度開始。可想，這家工廠也要采購EUV光刻機。根據(jù)臺積電上個月在其技術(shù)研討會上分享的詳細信息，該晶圓廠在擁有所有這些機器的一半，并負責(zé)去年所有基于 EUV 的芯片的 65%的出貨量。今年5月，據(jù)韓國媒體報道，三星電子已決定在德克薩斯州奧斯汀建設(shè) EUV 半導(dǎo)體晶圓廠，這將是該公司在韓國以外的擁有 EUV 生產(chǎn)線。該公司做出這一決定是為了滿足對更小的芯片日益增長的需求以及拜登總統(tǒng)重組該國半導(dǎo)體供應(yīng)鏈的計劃。公司計劃今年第三季度破土動工，2024年開始運營，據(jù)悉該廠將采用5nm工藝。該工藝是三星電子迄今為止商業(yè)化的工藝。此外，三星電子李在镕去年10月訪問了ASML，顯然是為了獲得EUV光刻機。而就在今年5月，ASML與韓國 ‌‌半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍和地方政府簽署了一份協(xié)議，將投資2400億韓元（2.11億美元），到 2025 年在京畿道華城建立 EUV 產(chǎn)業(yè)集群。隨著英特爾開始 ‌‌半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍擁抱EUV光刻機，EUV光刻機的搶奪將更加白熱化。雖然ASML 正在擴大生產(chǎn)，但到目前為止，他們只出貨了100多臺EUV機器，這是另一個潛在的瓶頸。