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2022-08-30  來(lái)自: 亞瑟半導(dǎo)體設(shè)備安裝(上海)有限公司 瀏覽次數(shù):2119

高精密實(shí)驗(yàn)室設(shè)備搬運(yùn)搬遷-高校實(shí)驗(yàn)室設(shè)備搬運(yùn)搬遷-精密儀器設(shè)備搬遷的亞瑟報(bào)道:‌‌實(shí)‍驗(yàn)‌室‍搬‌遷‍從全世界范圍來(lái)看,芯片的運(yùn)用范圍越來(lái)越廣闊,而且各行各業(yè)對(duì)于高級(jí)芯片的需求也在不斷地?cái)U(kuò)大。只不過(guò)芯片的供給往往與需求不平衡,尤其容易出現(xiàn)供不應(yīng)求的情況,從而造成“芯片荒”的現(xiàn)象。眾所周知,‌‌實(shí)‍驗(yàn)‌室‍搬‌遷‍芯片的生產(chǎn)都是需要‌‌實(shí)‍驗(yàn)‌室‍搬‌遷‍技術(shù)和設(shè)備作為支撐,其中光刻機(jī)是生產(chǎn)芯片主要的一種設(shè)備。但除此之外,一種名叫光刻膠的物質(zhì)是生產(chǎn)‌‌實(shí)‍驗(yàn)‌室‍搬‌遷‍片的重要原料,只不過(guò)長(zhǎng)期以來(lái)‌‌實(shí)‍驗(yàn)‌室‍搬‌遷‍芯片所需要的高級(jí)光刻膠的生產(chǎn)都被日本的東京應(yīng)化、JSR所壟斷,國(guó)內(nèi)的企業(yè)在光刻膠的生產(chǎn)方面幾乎沒(méi)有話語(yǔ)權(quán)。值得一提的是,隨著時(shí)間的發(fā)展,一些國(guó)內(nèi)企業(yè)也對(duì)光刻膠的生產(chǎn)進(jìn)行了技術(shù)的突破。而徐州博康這家企業(yè)在2021年的時(shí)候獲得了華為3億元的投資,并借此機(jī)會(huì),打破了日資的壟斷,使我國(guó)掌握了更加‌‌實(shí)‍驗(yàn)‌室‍搬‌遷‍光刻膠的生產(chǎn)技術(shù),那么具體的情況到底是怎樣呢?不可否認(rèn)的是,全世界范圍內(nèi)能夠生產(chǎn)‌‌實(shí)‍驗(yàn)‌室‍搬‌遷‍雖然芯片的外表看起來(lái)其貌不揚(yáng),但芯片的生產(chǎn)過(guò)程卻十分復(fù)雜,且需要強(qiáng)硬的技術(shù)作為支撐,尤其晶片制作的環(huán)節(jié)是生產(chǎn)芯片過(guò)程中‌‌實(shí)‍驗(yàn)‌室‍搬‌遷‍一個(gè)環(huán)節(jié)。其中,在芯片圖形的形成過(guò)程中,對(duì)于光刻機(jī)的精確度以及光刻膠的品質(zhì)是十分具有考驗(yàn)性的。比如說(shuō)目前能夠制造出3納米及以下的EUV光刻機(jī),只有荷蘭的ASML公司能夠生產(chǎn)出來(lái)。對(duì)于我國(guó)來(lái)說(shuō),雖然光刻機(jī)的生產(chǎn)技術(shù)在不斷的突破,但距離ASML的光刻機(jī)還具有很長(zhǎng)的一段距離。而除此之外,我國(guó)的光刻膠在此之前也頻頻受制于人,從而進(jìn)一步限制了我國(guó)芯片領(lǐng)域的發(fā)展。‌‌實(shí)‍驗(yàn)‌室‍搬‌遷‍不同精度的光刻機(jī)對(duì)于光刻膠的特性要求是不一樣的,并且每一種光刻機(jī)都有對(duì)應(yīng)的光刻膠使用要求。比如說(shuō)現(xiàn)在的光刻機(jī)分為三種,UV光刻機(jī),DUV光刻機(jī)以及EUV光刻機(jī),其中,目前‌‌實(shí)‍驗(yàn)‌室‍搬‌遷‍的光刻機(jī)就是EUV光刻機(jī),其生產(chǎn)出來(lái)的芯片也是精度高的。不過(guò)僅有光刻機(jī)還不行,EUV光刻機(jī)還需要對(duì)應(yīng)EUV光刻膠進(jìn)行使用。‌‌實(shí)‍驗(yàn)‌室‍搬‌遷‍一般來(lái)說(shuō),光刻膠由三種主要成分構(gòu)成,分別是感光樹(shù)脂,增感劑以及溶劑,而光刻膠的主要應(yīng)用場(chǎng)所是將它涂在晶圓表面,當(dāng)光刻機(jī)的紫外光照射在晶圓之上,正性的光刻膠會(huì)被留下來(lái),而負(fù)性的光刻膠就會(huì)被溶解。之所以光刻膠對(duì)芯片具有關(guān)鍵作用,其主要表現(xiàn)在光刻膠的性能決定了所制造芯片的分辨率是怎樣的。而越‌‌實(shí)‍驗(yàn)‌室‍搬‌遷‍光刻膠所具有的分辨率就會(huì)越高,并且相對(duì)應(yīng)的光刻膠所需要的生產(chǎn)技術(shù)也會(huì)越嚴(yán)格。


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