無塵室設(shè)備搬運(yùn)-精密儀器設(shè)備搬遷-半導(dǎo)體設(shè)備搬運(yùn)的亞瑟報道：半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍EUV光刻機(jī)是生產(chǎn)半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍芯片的必要設(shè)備，目前被臺積電、三星、英特爾等巨頭爭相半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍。經(jīng)過ASML多年的量產(chǎn)，這幾大芯片制造巨頭都獲得了數(shù)量不菲的EUV光刻機(jī)。半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍而現(xiàn)在三大巨頭改變了爭搶光刻機(jī)的方向，開始將目光放在了ASML下一代的High-NA EUV 光刻機(jī)。半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍英特爾，臺積電相繼宣布將引入NA EUV光刻機(jī)，在這之后三星也正式確認(rèn)，和ASML達(dá)成了采購新一代EUV光刻機(jī)的采購協(xié)議。新一代EUV光刻機(jī)具備怎樣的特性，值得巨頭們爭搶呢？入手新一代EUV光刻機(jī)后，三星能拉近和臺積電的距離嗎？荷蘭ASML公司是半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍EUV光刻機(jī)的廠商，這對于生產(chǎn)7nm及以下芯片的制造商來說，是半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍要打好合作關(guān)系的。但能否從ASML手中獲得EUV光刻機(jī)，還得看實際情況。半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍臺積電是ASML的大股東，所以能獲得優(yōu)先供貨EUV光刻機(jī)的權(quán)利。本以為臺積電能在ASML發(fā)布下一代NA EUV光刻機(jī)時占據(jù)上風(fēng)半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍沒想到英特爾宣布將半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍NA EUV光刻機(jī)。臺積電大客戶的身份也沒能獲得NA EUV光刻機(jī)半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍，卻被英特爾搶了先。不過臺積電不會就此放棄爭奪NA EUV光刻機(jī)，6月中旬，臺積電宣布將在2024年引入NA EUV光刻機(jī)，為2025年量產(chǎn)2nm芯片做準(zhǔn)備。英特爾，臺積電先后出手了，三星再怎么說也是半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍第二大芯片制造商，不可能錯過NA EUV光刻機(jī)的爭搶。果不其然，半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍6月30日傳來消息，三星正式確認(rèn)，和ASML達(dá)成了下一代NA EUV光刻機(jī)的采購協(xié)議。