設(shè)備搬運(yùn)設(shè)備安裝設(shè)備吊裝電鏡安裝的亞瑟報(bào)道：精‌密‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍產(chǎn)業(yè)資訊，日本JSR收購了次世代EUV光刻膠初創(chuàng)企業(yè)美國inpria。通過此次收購， JSR擴(kuò)大了EUV 光刻膠布局。隨著半導(dǎo)體精細(xì)制程需求而增長(zhǎng)的EUV光刻膠市場(chǎng)上，JSR的地位有望進(jìn)一 步加強(qiáng)。 根據(jù)精‌密‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍ 報(bào)道，JSR宣布收購 inpria 79%的股份。JSR在2017年獲得了inpria 21%的股份，通過 此次追加投資完成了inpria 的100%股份持有。收購工作將于10月底結(jié)束。inpria的市值為5.14億美 元。 精‌密‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍inpria是開發(fā)半導(dǎo)體曝光制程中使用的PR的初創(chuàng)公司。可以畫出超精細(xì)電路pattern的EUV需要與傳統(tǒng)制 程不一樣的專用光刻膠。因其技術(shù)難度高，一直被日本 JSR、TOK、信越等生產(chǎn)。 精‌密‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍inpria開發(fā)出了比現(xiàn)有的有機(jī)物基礎(chǔ)EUV 光刻膠光吸收率更高的無機(jī)物基礎(chǔ)光刻膠，因此在業(yè)界備受關(guān) 注。三星電子、SK 海力士、TSMC等企業(yè)均對(duì)inpria進(jìn)行過投資。精‌密‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍通過此次收購，JSR在EUV光刻膠市場(chǎng)上的影響力將進(jìn)一步加強(qiáng)。隨著JSR將產(chǎn)品領(lǐng)域從有機(jī)物光刻膠擴(kuò) 大到無機(jī)物光刻膠，可以應(yīng)對(duì)新一代EUV 光刻膠市場(chǎng)。JSR表示:“，JSR聯(lián)手inpria將穩(wěn)固和加強(qiáng)了作為 業(yè)界曝光制程領(lǐng)域的合作伙伴的地位。收購決定與 JSR對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的長(zhǎng)期戰(zhàn)略和經(jīng)營方針 一致。”