電鏡搬運(yùn)維修維護(hù)
2021-08-03 來(lái)自: 亞瑟半導(dǎo)體設(shè)備安裝(上海)有限公司 瀏覽次數(shù):191
電鏡搬運(yùn)維修維護(hù)的亞瑟報(bào)道:近些年來(lái),半導(dǎo)體設(shè)備搬運(yùn)隨著汽車(chē)和工業(yè)的升級(jí),以SiC為代表的第三代化合物開(kāi)始受到行業(yè)的青睞。但受到成本的影響,SiC的市場(chǎng)還處于爆發(fā)的前夕。從實(shí)際情況上看,目前多數(shù)SiC都采用的4英寸、6英寸晶圓進(jìn)行生產(chǎn),而6英寸和8英寸的可用面積大約相差1.78倍,這也就意味著8英寸制造將會(huì)在很大程度上降低SiC的應(yīng)用成本,因而,SiC何時(shí)才能邁進(jìn)8英寸時(shí)代也成為了產(chǎn)業(yè)聚焦的熱點(diǎn)之一。日前,意法半導(dǎo)體(半導(dǎo)體設(shè)備搬運(yùn))所宣布的一則消息,則讓產(chǎn)業(yè)看到了8英寸SiC時(shí)代到來(lái)的希望——ST在其官方新聞稿中表示,其瑞典北雪平工廠(chǎng)制造出首批8英寸SiC晶圓片,這些晶圓將用于生產(chǎn)下一代電力電子芯片的產(chǎn)品原型。晶圓升級(jí)到200mm標(biāo)志著擴(kuò)大產(chǎn)能,以及支持汽車(chē)和工業(yè)市場(chǎng)實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)和產(chǎn)品電氣化的計(jì)劃取得階段性成功。那么,目前國(guó)內(nèi)外8英寸SiC的情況到底如何,8英寸SiC時(shí)代才能真正開(kāi)啟?眾所周知,半導(dǎo)體設(shè)備搬運(yùn)以硅基為材料的晶圓已經(jīng)開(kāi)始從8英寸邁向了12英寸,硅晶圓的生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)是否可以助力SiC晶圓向更大面積發(fā)展,與硅晶圓相比,SiC晶圓的生產(chǎn)難點(diǎn)又在哪里?深圳基本半導(dǎo)體有限公司總經(jīng)理和巍巍博士介紹道:“與硅材料芯片相比,8英寸和6英寸SiC生產(chǎn)的主要差別在高溫工藝上,例如高溫離子注入,高溫氧化,高溫等,以及這些高溫工藝所需求的hard mask(硬掩模)工藝等。”高溫工藝關(guān)乎著SiC的良率,這也是各大SiC廠(chǎng)商所著力研發(fā)的關(guān)鍵環(huán)節(jié)之一。
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