上海檢測設(shè)備裝卸搬運(yùn)
2021-06-27
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亞瑟半導(dǎo)體設(shè)備安裝（上海）有限公司
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上海檢測設(shè)備裝卸搬運(yùn)的亞瑟報道：1963年7月，我從清華大學(xué)無線電系半導(dǎo)體半導(dǎo)體設(shè)備搬運(yùn)業(yè)。我們這個半三班是清華大學(xué)培養(yǎng)的第三屆半導(dǎo)體半導(dǎo)體設(shè)備搬運(yùn)畢業(yè)班。畢業(yè)后同學(xué)們都服從半導(dǎo)體設(shè)備搬運(yùn)分配，有的留校當(dāng)老師，有的到研究單位搞科研，有的到工廠從事生產(chǎn)，也有個別同學(xué)到情報所從事科技情報工作。我和另外幾位同學(xué)一起分配到北京電子管廠工作，當(dāng)時代號為774廠，為四機(jī)部直屬廠。當(dāng)年8月份我就到位于北京東郊的電子管廠報到開始工作。剛到北京電子管廠時，分配在十車間高頻晶體管工段勞動鍛煉。這是一個生產(chǎn)Ge（金者）合金擴(kuò)散高頻晶體管工段，還有一個Ge合金低頻晶體管工段。兩個工段生產(chǎn)的都是蘇聯(lián)型號的Ge晶體管。當(dāng)時產(chǎn)品主要用于裝配制造半導(dǎo)體收音機(jī)，北京就有北京無線電廠生產(chǎn)半導(dǎo)體收音機(jī)。在高頻管工段勞動鍛煉期間，先后在清洗、測試、擴(kuò)散等工序勞動，初步掌握了操作方法。后來分配搞引出電極拉絲新工藝，經(jīng)過嚴(yán)文義（1962年南京工學(xué)院畢業(yè)）幫助，后來在生產(chǎn)上拉絲代替了原來的扎球老工藝，提高了電極引線的可靠性。
1964年調(diào)到十車間試制組，參加Si（硅）平面型晶體管試制、拉線工作。我當(dāng)時籌備氧化和B（石朋）擴(kuò)散工藝，和同志們一起自制了高溫?cái)U(kuò)散爐和溫度自動控制裝置。其他技術(shù)員則分別自制了光刻機(jī)、制版照相機(jī)、蒸發(fā)臺、外延爐等工藝設(shè)備和測試臺。這些都是我們自己設(shè)計(jì)了草圖，去機(jī)械加工車間加工，回來安裝調(diào)試后投入使用。經(jīng)過多次試驗(yàn)，我制備了一套不同厚度的二氧化硅樣片，可采用涂膠腐蝕法、僅用普通顯微鏡就可分辨二氧化硅的厚度差別。并試驗(yàn)了爐溫、水溫、時間對生成氧化層厚度的影響，也試驗(yàn)了爐溫、時間、攜帶氣氛（干氧、濕氧）對B預(yù)擴(kuò)散的影響，以及爐溫、時間、攜帶氣氛（干氧、濕氧）、水溫對B再分布的影響。在平面管大組里和大家一起先后共同試制出4S1型（3～5W）和4S11型（10～15W）硅高頻大功率平面管。并和一位應(yīng)用組人員一起將北京電子管廠試制出來的4S11管送到陜西寶雞769廠研制15W電臺用1965年，總廠成立分廠，十車間改為十分廠，試制組則改為試驗(yàn)室：三室。5月份我從寶雞出差回來，室里把我調(diào)出來籌備硅半導(dǎo)體單塊集成電路試制線。當(dāng)時稱為固體電路，此為繼半導(dǎo)體設(shè)備搬運(yùn)電子管、第二代半導(dǎo)體晶體管之后的第三代電子器件。開始我仍搞B擴(kuò)散工藝，設(shè)計(jì)了半導(dǎo)體集成電路的版圖，是一塊與非門電路。由制版組做出整套掩模版，用以投片試驗(yàn)。后擔(dān)任固體電路大組長工作，負(fù)責(zé)串線和全組的組織工作。在室技術(shù)副主任朱恩均領(lǐng)導(dǎo)下，當(dāng)年和全大組同志們一起共同試制出774廠DTL型二極管晶體管邏輯低速數(shù)字電路。之后又搞了幾個新品種。我們使用的外殼為扁平型金屬封裝，兩邊出腿，每邊7條腿。我配合總廠技術(shù)科和工具科、五分廠（玻璃分廠），試驗(yàn)改進(jìn)扁平型集成電路外殼。我設(shè)計(jì)了外殼圖紙，由工具科設(shè)計(jì)模具圖紙，做出模具后由機(jī)加車間沖出零件，再由五分廠做成扁平型金屬外殼。并和五分廠配合，試驗(yàn)采用低熔點(diǎn)玻璃作為硅片粘結(jié)材料。當(dāng)時北京地區(qū)還有中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所和北京無線電技術(shù)研究所（簡稱沙河研究所），外地則有河北省石家莊13所也研制出半導(dǎo)體單塊集成電路樣品。我們研制的DTL電路采用SiO2介質(zhì)隔離、反外延工藝，是與13所的工藝路線相同。13所在1965年底召開了一批半導(dǎo)體產(chǎn)品定型會，包括DTL型單片集成電路，這為我國集成電路半導(dǎo)體設(shè)備搬運(yùn)設(shè)計(jì)定型會，我也參加了這次會議。在1966年至1967年間，我們774廠和石家莊13所共同承擔(dān)為北京15所（華北計(jì)算機(jī)研究所）研制第三代小型電子計(jì)算機(jī)配套集成電路的任務(wù)，774廠提供量大的與非門電路，13所提供技術(shù)難度大的與非驅(qū)動器電路。15所研制出的第三代電子計(jì)算機(jī)樣機(jī)在內(nèi)部科研成果展覽會上展出，展出時演奏“東方紅”樂曲。此為我國自己研制的、采用國產(chǎn)集成電路的首批第三代電子計(jì)算機(jī)之一半導(dǎo)體設(shè)備搬運(yùn)通過參加晶體管和集成電路的生產(chǎn)勞動，不僅加深了對在大學(xué)里所學(xué)知識的理解，而且具體掌握了一些工序的實(shí)際操作工藝，了解了一個晶體管和一個集成電路是經(jīng)過哪些工序才能制造出來的。尤其是在以生產(chǎn)電子器件-----電子管為主的北京電子管廠里，不僅參與了第二代電子器件----半導(dǎo)體晶體管Ge管的生產(chǎn)和Si管的研制，更有幸的是在大學(xué)畢業(yè)剛工作兩年后，在1965年6月份就開始承擔(dān)研制第三代電子器件----半導(dǎo)體集成電路的光榮任務(wù)。Ge管生產(chǎn)時，技術(shù)上是由當(dāng)時十車間技術(shù)副主任王正華（1952年清華大學(xué)電機(jī)系畢業(yè)）領(lǐng)導(dǎo)下進(jìn)行的，Si管研制時，技術(shù)上是由當(dāng)時試制組副組長朱恩均（1957年北京大學(xué)半導(dǎo)體物理畢業(yè)）領(lǐng)導(dǎo)下進(jìn)行的。而在774廠研制集成電路3年半（1965年下半年至1968年底）期間，我由一個B擴(kuò)散組工藝技術(shù)員開始工作，后來擔(dān)任了固體電路組大組長，負(fù)責(zé)整條研制線的工作。固體電路組工人由三部分人員組成：一部分來自電子管車間的女工，一部分來自總廠警衛(wèi)隊(duì)的男工，還有一部分為近兩年分配來的中專畢業(yè)生（后來轉(zhuǎn)為技術(shù)人員）。技術(shù)員則為1962年至1967年期間畢業(yè)的大學(xué)生，有清華、西安交大、西電、成電、浙大等大學(xué)。之后在1966----1968年間，當(dāng)我們?yōu)?5所研制電子計(jì)算機(jī)配套的集成電路時，15所還派有技術(shù)人員前來合作，主要對產(chǎn)品進(jìn)行測試和分析工作。在我們研制集成電路期間，不僅鍛煉了我們自己的隊(duì)伍，而且還接待了沈陽半導(dǎo)體所和878廠籌備組派來的實(shí)習(xí)隊(duì)伍，以及北京大學(xué)半導(dǎo)體學(xué)生的見習(xí)活動，為我國集成電路事業(yè)培養(yǎng)人才作出了貢獻(xiàn)。總之，半導(dǎo)體設(shè)備搬運(yùn)在774廠工作雖然只有5年多的時間，但由于直接參加生產(chǎn)晶體管和研制集成電路實(shí)踐，這為今后長期從事集成電路研制、生產(chǎn)和管理工作打下了扎實(shí)的基礎(chǔ)。
