半導(dǎo)體設(shè)備裝卸-搬運(yùn)報(bào)道2019 年底在舊金山舉辦的年度半?導(dǎo)?體?設(shè)?備?搬?運(yùn)?電子元件會(huì)議（IEDM）上，臺(tái)積電公布的兩個(gè)報(bào)告標(biāo)志著集成電路制造邁入了EUV 光刻時(shí)代。半?導(dǎo)?體?設(shè)?備?搬?運(yùn)?報(bào)告宣布了應(yīng)用EUV 光刻技術(shù)的7 納米世代的改良版芯片已經(jīng)于2019 年正式量產(chǎn)，我們知道這個(gè)技術(shù)已經(jīng)用在2019 年生產(chǎn)的麒麟990 5G 這顆有多于100 億個(gè)晶體管的芯片上。第二個(gè)報(bào)告宣布了2020 年量產(chǎn)的5 納米世代將會(huì)有十幾層的制程用EUV 光刻技術(shù)來完成，取代多于它四倍（四十幾層）的193 納米浸潤(rùn)式光刻技術(shù)。果然，2020 年秋天，華為半?導(dǎo)?體?設(shè)?備?搬?運(yùn)?mate40和蘋果公司的5G 旗艦手機(jī)已經(jīng)搭載臺(tái)積電制造的5 納米世代的芯片。日前，蘋果更宣布用于Mac PC 的新芯片：這片5 納米世代的芯片上含有160 億個(gè)晶體管。EUV 光刻技術(shù)使摩爾定律得以延續(xù)。ASML半?導(dǎo)?體?設(shè)?備?搬?運(yùn)? 上周財(cái)報(bào)中指出該公司于2020 年底慶祝第100 臺(tái)EUV 極紫外光光刻系統(tǒng)出貨。中國(guó)臺(tái)灣目前更是EUV半?導(dǎo)?體?設(shè)?備?搬?運(yùn)?裝機(jī)基地。EUV 光刻技術(shù)歷經(jīng)20 余年的實(shí)驗(yàn)室研發(fā)，以及12 年的量產(chǎn)研發(fā)，至今成為半導(dǎo)體半?導(dǎo)?體?設(shè)?備?搬?運(yùn)?制程中重要的生產(chǎn)工具。ASML 副總裁暨技術(shù)開發(fā)中心主任嚴(yán)濤南，正是推動(dòng)EUV 應(yīng)用在量產(chǎn)階段的靈魂人物。