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安裝搬運《電鏡精密設備》

2021-01-21  來自: 亞瑟半導體設備安裝(上海)有限公司 瀏覽次數(shù):236

近年來興起的電子顯微鏡安裝搬運《電鏡精密設備》原位(In Situ)技術引起了國內(nèi)外學者的廣泛關注.

其一方面繼承了常規(guī)電子顯微鏡精?密?設?備?搬?運?所具有的高空間,高時間分辨率的優(yōu)點,另一方面又在電子顯微鏡內(nèi)部引入了電,磁,力,熱等不同外部激勵

.從而可以在微觀尺度下實時原位觀察,研究材料和器件的結構及物理性能變化,發(fā)現(xiàn)并提出新的理論,不斷豐富和提高著人們的認知.

從目前國內(nèi)外電鏡原位研究的發(fā)展趨勢來看,從單一物理量原位研究設備到多物理量原位研究設備的過渡是發(fā)展必然,原因是材料和器件的實際使用是位于復雜環(huán)境中的,研究環(huán)境盡量符合實際情況一直是科研工作者所追求的理想實驗條件.

掃描電鏡(SEM)精?密?設?備?搬?運?,透射電鏡(TEM精?密?設?備?搬?運?)為實驗平臺,設計發(fā)明了一系列可實現(xiàn)不同物理功能的掃描電鏡,透射電鏡原位樣品臺.對不同材質和形貌的納米材料進行原位多物理場耦合加載,得到了傳統(tǒng)實驗無法獲得的對材料結構與性能之間相互作用關系的嶄新認識.

主要研究內(nèi)容總結如下:

一,研制了可以在1平方厘米平面范圍內(nèi),實現(xiàn)溫度20℃~500℃連續(xù)可控變化的掃描電鏡原位變溫功能樣品臺.

結合實驗室自主研發(fā)的蘭州大學納米操縱器,搭建了可以同時實現(xiàn)掃描電鏡下納米材料熱,力

電三場原位性能的測量平臺.結合電化學模板沉積法制備了熔點約為180℃的一維SnPb納米焊料,并對其進行實時原位熔化觀察,同步檢測儀器性能.精?密?設?備?搬?運?

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